我国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，从1966年开始研究沸石分子筛分离空气制氧技术；20世纪70年代psa分离空气制氧在钢铁、冶炼和玻璃窑等工业领域已经得到了广泛的应用。20多年来，制氧系统，由于技术力量分散，相互之间缺少联络，我国的变压吸附制氧技术发展缓慢，变压吸附制氧机，同国外的差距越来越大。20世纪70年代是我国psa分离空气制氧技术发展的鼎盛时期，全国有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，psa制氧设备，建立了数套工业试验设备。
早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：
（1）大多采用高于---压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；
（2）空气进入吸附塔前，制氧设备，经过脱水预处理；
（3）设备---性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；
（4）技术、经济指标落后。
20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。
当变压吸附制氧机吸附器吸附到一定程度，其中的吸附剂将达到饱和状态，此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg。已吸附的水分、---、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至---，吸附剂得到再生。变压吸附制氧机的每个吸附器都交替执行以下步骤:---吸附---解吸---冲压上述三个基本的工艺步骤由plc和切换阀系统来实现自动控制。
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